| 发明名称 | 显微镜自聚焦装置及相配的自聚焦用光阑 | ||
| 摘要 | 本发明涉及用于显微镜(40)的三角形自聚焦装置(21)中的自聚焦用光阑(5，6)，其中孔径光阑(5，6)包含至少一个膜片孔(3，4)，利用该膜片孔可将用于自聚焦并沿自聚焦装置(21)光轴(18)方向伸展的测量束锥(34)限制在其截面内，其中自聚焦用光阑(5，6)的膜片孔(3，4)被安置在离该自聚焦装置(21)光轴(18)有一定距离的偏心位置，其中偏心的自聚焦测量束(36)通过在测量束锥(34)的一半截面(17)内的膜片孔(3，4)产生。 | ||
| 申请公布号 | CN102313976B | 申请公布日期 | 2015.08.19 |
| 申请号 | CN201110170597.0 | 申请日期 | 2011.06.23 |
| 申请人 | 徕卡显微系统复合显微镜有限公司 | 发明人 | R·克鲁格 |
| 分类号 | G02B21/24(2006.01)I;G02B7/30(2006.01)I | 主分类号 | G02B21/24(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 | 代理人 | 蔡民军;胡强 |
| 主权项 | 显微镜(40)的具有自聚焦用光阑(5，6)的三角形自聚焦装置(21)，它包含至少一个膜片孔(3，4)，用于限制沿该自聚焦装置(21)的光轴(18)方向伸展的测量束锥(34)的截面以及产生单一的自聚焦测量束(36)，此三角形自聚焦装置具有自聚焦光学装置(25，26)，用于通过自聚焦测量束(36)利用显微镜(40)的物镜(10)在目标物上产生测量图形，其特征在于：该自聚焦用光阑(5，6)的膜片孔(3，4)被安置在离该自聚焦装置(21)的光轴(18)有一定距离的偏心位置，其中偏心的自聚焦测量束(36)通过在测量束锥(34)的一半截面(17)内的膜片孔(3，4)产生，选择至少两个不同自聚焦用光阑(5，6)中的一个，光阑的膜片孔(3，4)被安置在离该自聚焦装置(21)的光轴(18)不同的距离，且两个自聚焦用光阑(5，6)的膜片孔(3，4)在测量束路径(34)的截面上的投影中不相重叠。 | ||
| 地址 | 德国韦茨拉尔 | ||