雷射装置、具备该雷射装置之曝光装置及检查装置

摘要

提供一种可进行高速且稳定之输出光之切换动作之雷射装置。;雷射装置具备雷射光源11A、强度调变器12、光纤增幅器、波长转换光学元件、控制部8。雷射光源11A具备以频率f产生第1种光Ls1之第1雷射光源11a、及以相同频率f但不同时序产生第2种光Ls2之第2雷射光源11b。强度调变器12系频率f且透射状态与遮断状态切换之开启/关闭闸。从第1雷射光源输出之第1种光Ls1与从第2雷射光源输出之第2种光Ls2合波后射入强度调变器12。控制部8，藉由使开启/关闭闸相对于第1种光及第2种光之时序变化，使第1种光及第2种光之任一者透射过。