光刻设备和可移除构件

摘要

一种光刻设备和可移除构件。所述光刻设备布置成将图案形成装置的图案传递至衬底上，所述光刻设备具有第一物体和安装在第一物体上以改善至/来自第二物体的热传递的平面构件。

主权项

一种光刻设备，布置成将图案从图案形成装置传递至物体上，所述光刻设备包括：具有多个突节的突节板，所述多个突节配置成支撑物体的下表面；调节系统，用于热调节所述物体，和用以改善至/来自物体的热传递的位于突节板的多个突节之间的构件。