具备防振装置的曝光装置

摘要

一种曝光装置，经由光学部件(13)与基板(P)之间的液体(LQ)以曝光用光对基板进行曝光，该曝光装置具备装置框架(8B)、包括光学部件的光学系统、包括配置于光学部件周围的至少一部分的第1部件(21)和配置于光学部件周围的至少一部分的第2部件(22)并且能够形成液浸空间的液浸部件(5)、能够使第2部件相对于第1部件移动的驱动装置(56)，和防振装置(55)，经由防振装置(55)将第1部件支承于装置框架。

主权项

一种曝光装置，经由光学部件与基板之间的液体以曝光用光对所述基板进行曝光，该曝光装置具备：装置框架；光学系统，其包括所述光学部件；液浸部件，其能够形成液浸空间，并且包括配置于所述光学部件周围的至少一部分的第1部件、和配置于所述光学部件周围的至少一部分的第2部件；驱动装置，其能够使所述第2部件相对于所述第1部件移动；和防振装置，经由所述防振装置而使所述第1部件支承于所述装置框架。