| 发明名称 | 静电卡盘 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种静电卡盘，其是内置有静电电极的静电卡盘，在观察纵截面时，所述静电电极的端面为平面或膨胀面，且该膨胀面的上角、膨胀顶端和下角所连成的角度θ为160°≦θ＜180°。 | ||
| 申请公布号 | CN104835770A | 申请公布日期 | 2015.08.12 |
| 申请号 | CN201510174096.8 | 申请日期 | 2012.03.29 |
| 申请人 | 日本碍子株式会社 | 发明人 | 木村拓二;高桥贵博;中西宏和 |
| 分类号 | H01L21/683(2006.01)I;C04B35/624(2006.01)I;C04B35/10(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/683(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人 | 钟晶;李家浩 |
| 主权项 | 一种静电卡盘，其是内置有静电电极的静电卡盘，在观察纵截面时，所述静电电极的端面为平面或膨胀面，且该膨胀面的上角、膨胀顶端和下角所连成的角度θ为160°≦θ＜180°。 | ||
| 地址 | 日本爱知县 | ||