用于电场测量系统的电极设计

摘要

本发明揭示一种用于具有发射电极及至少一个接收电极的电场传感器装置的电极布置，其可具有非导电衬底，所述非导电衬底具有第一导电层及第二导电层。第一电极布置于所述第一导电层内，其中所述第一电极为所述电场传感器装置的接收电极，且第二电极布置于所述第二导电层内，其中所述第二电极为所述电场传感器装置的发射电极，其中所述第二电极覆盖比所述第一电极大的区域，且其中所述第二电极经纹理化以减小所述第一电极与所述第二电极之间的电容。

主权项

一种用于具有至少一个发射电极及至少一个接收电极的产生准静态电场的电场传感器装置的电极布置，其包括：非导电衬底，其具有第一导电层及第二导电层；第一电极，其布置于所述第一导电层内，其中所述第一电极为所述电场传感器装置的接收电极；以及第二电极，其布置于所述第二导电层内，其中所述第二电极为所述电场传感器装置的发射电极，其中所述第二电极覆盖比所述第一电极大的区域，且其中所述第一电极及/或所述第二电极经纹理化以减小所述第一电极与所述第二电极之间的电容。