发明名称 保护膜形成用膜
摘要 本发明涉及一种保护膜形成用膜,其用于形成保护半导体芯片的保护膜,所述保护膜形成用膜含有(A)丙烯酸类聚合物、(B)环氧类固化性成分、(C)填充材料及(D1)硅烷偶联剂,构成(A)丙烯酸类聚合物的单体不含含有环氧基团的单体或者以全部单体的8质量%以下的比例包含含有环氧基团的单体,并且(A)丙烯酸类聚合物的玻璃化转变温度为-3℃以上,(D1)硅烷偶联剂的分子量为300以上。
申请公布号 CN104838490A 申请公布日期 2015.08.12
申请号 CN201380063148.3 申请日期 2013.11.29
申请人 琳得科株式会社 发明人 高野健;篠田智则;吾妻佑一郎
分类号 H01L23/29(2006.01)I;B32B27/30(2006.01)I;C08J5/18(2006.01)I;C08L63/00(2006.01)I;H01L23/00(2006.01)I;H01L23/31(2006.01)I 主分类号 H01L23/29(2006.01)I
代理机构 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人 王利波
主权项 一种保护膜形成用膜,其用于形成保护半导体芯片的保护膜,所述保护膜形成用膜含有(A)丙烯酸类聚合物、(B)环氧类固化性成分、(C)填充材料及(D1)硅烷偶联剂,构成(A)丙烯酸类聚合物的单体不含含有环氧基团的单体或者以全部单体的8质量%以下的比例包含含有环氧基团的单体,并且(A)丙烯酸类聚合物的玻璃化转变温度为‑3℃以上,(D1)硅烷偶联剂的分子量为300以上。
地址 日本东京都