一种高灵敏度水平霍尔盘

摘要

本发明涉及一种高灵敏度水平霍尔盘，包括霍尔阱，用于在磁场和电场中通过霍尔效应产生电荷的载体；电极，分别与霍尔阱连接，用于输入偏置电压，输出霍尔电压；底层衬底，设于霍尔阱的底部，用于与霍尔阱产生反向偏置PN结，从而产生用于隔离霍尔阱的耗尽区，避免漏电；有源接地环，用于向霍尔盘提供相对电势零点；内侧和外侧保护环，包绕在霍尔阱的周侧，用于隔离霍尔阱，避免漏电流，屏蔽外部干扰；顶层金属层，设于霍尔阱的顶部，用于隔离霍尔阱，屏蔽外部干扰，降低霍尔盘工作时产生的闪烁噪声。有益效果为：不仅具有高灵敏度和低温度效应等特性，同时还具有体积小、结构简单、工艺兼容性好、加工成品率高等优势。

主权项

一种高灵敏度水平霍尔盘，其特征在于包括霍尔阱，用于在磁场和电场中通过霍尔效应产生电荷的载体；电极，分别与霍尔阱连接，用于输入偏置电压，输出霍尔电压；底层衬底，设于霍尔阱的底部，用于与十字霍尔阱产生反向偏置PN结，从而产生用于隔离霍尔阱的耗尽区，避免漏电；有源接地环，用于向霍尔盘提供相对电势零点；内侧保护环和外侧保护环，由内至外依次包绕在霍尔阱的周侧，用于隔离霍尔阱，避免漏电流，屏蔽外部干扰；顶层金属层，设于霍尔阱的顶部，用于隔离霍尔阱，屏蔽外部干扰，降低霍尔盘工作时产生的闪烁噪声。