Apparatus and method for large single crystal growth using artificial graphite

摘要

본 발명은 인조흑연을 활용한 대구경 단결정 성장장치 및 방법에 관한 것으로, 도가니 내부에 설치되는 종자정 받침대; 종자정 받침대에 적층되는 인조흑연 시트; 및 인조흑연 시트에 적층되는 종자정을 포함하는 단결정 성장장치를 제공한다.