发明名称 |
触摸屏及其制备方法 |
摘要 |
本发明提供了一种制备触摸屏的方法和用该方法制备的触摸屏,所述方法包括如下步骤:a)在基板上形成导电层;b)在所述导电层上形成防蚀图案;和c)通过使用所述防蚀图案经过度蚀刻所述导电层形成线宽小于所述防蚀图案的线宽的导电图案。根据本发明,可以经济和有效率地提供包含具有超细线宽的导电图案的触摸屏。 |
申请公布号 |
CN102308366B |
申请公布日期 |
2015.08.12 |
申请号 |
CN201080007008.0 |
申请日期 |
2010.02.08 |
申请人 |
LG化学株式会社 |
发明人 |
黄智泳;黄仁皙;全相起;李东郁;孙镛久;朴珉春;李承宪;具范谟;洪瑛晙;金起焕;金秀珍;崔贤 |
分类号 |
G06F3/041(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I;G02B5/28(2006.01)I |
主分类号 |
G06F3/041(2006.01)I |
代理机构 |
北京金信知识产权代理有限公司 11225 |
代理人 |
朱梅;师杨 |
主权项 |
一种制备触摸屏的方法,该方法包括如下步骤:a)在基板上形成导电层;b)在所述导电层上形成防蚀图案;c)通过使用所述防蚀图案经过度蚀刻所述导电层形成具有比防蚀图案的线宽小的线宽的第一导电图案;以及e)去除所述防蚀图案并且在所述第一导电图案上形成绝缘层,其中,所述导电图案具有100微米以下的线宽,并且其中,在所述步骤b)中,所述防蚀图案的线边缘粗糙度(LER)通过将在所述步骤c)中形成的第一导电图案的线宽的1/2或更小来控制。 |
地址 |
韩国首尔 |