| 发明名称 | 角加速度传感器以及加速度传感器 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种能同时实现宽检测频带和高S/N比的角加速度传感器以及加速度传感器。角加速度传感器(10)具有沿着X-Y面的平板面，包括：固定部(12)、锤部(13)、梁部(14)、以及压电电阻元件(15A～15D)。锤部(13)相对于固定部(12)被支承。梁部(14)沿着Y轴延伸，连接固定部(12)和锤部(13)。梁部(14)包括贯通Z轴方向的贯通孔(27A～27D)，以及在X轴方向突出的宽度方向凸部(28A、28B)。压电电阻元件(15A～15D)在Y轴方向上的位置与贯通孔(27A～27D)重叠，同宽度方向凸部(28A、28B)错开。 | ||
| 申请公布号 | CN104838274A | 申请公布日期 | 2015.08.12 |
| 申请号 | CN201380064793.7 | 申请日期 | 2013.12.09 |
| 申请人 | 株式会社村田制作所 | 发明人 | 北居正弘;市丸正幸 |
| 分类号 | G01P15/12(2006.01)I;H01L29/84(2006.01)I | 主分类号 | G01P15/12(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人 | 张鑫 |
| 主权项 | 一种角加速度传感器，其特征在于，具有平板面，包括：固定部；锤部，该锤部相对于所述固定部被支承；梁部，该梁部在所述平板面内延伸，连接所述固定部以及所述锤部；以及检测元件，该检测元件设置在所述梁部，检测由所述梁部的平板面内的弯曲产生的应力，所述梁部包括宽度方向凸部，该宽度方向凸部在所述宽度方向突出，所述检测元件在所述延伸方向上的位置同所述宽度方向凸部错开。 | ||
| 地址 | 日本京都府 | ||