| 主权项 |
一种量测资料验证方法，包括下列步骤：取得一基板，其中该基板具有一材质特征，而该材质特征系根据一设计特征形成于该基板上；藉由使用一量测工具中之一电子源，施加一发射信号于该材质特征上，其中该量测工具拥有一工具设定参数；藉由使用该量测工具中之一侦测器，从该材质特征处收集一回应信号，以取得一量测资料；藉由使用一智慧复检引擎，由该设计特征计算一模拟回应信号，其中该智慧复检引擎系使用该工具设定参数；以及藉由比较该回应信号与该模拟回应信号，验证该量测资料；其中验证该量测资料之步骤包括：计算该回应信号与该模拟回应信号之间之一差异值；评估该差异值，以判断该差异值是否落在一既定值之范围内；若该差异值系小于该既定值，则验证该量测资料为有效；以及若该差异值系大于该既定值，则重新执行一量测程序。
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