沉积系统

主权项

一种沉积系统，包含：一腔体，内含：一靶材；一基板，与该靶材相隔一间距且与该靶材对应设置；及一电浆，形成于该靶材与该基板之间；一电源模组，与该腔体电性连接，并使该靶材与该基板之间产生一电位差；一第一电浆侦测模组，与该腔体连接且侦测分析该电浆成分；以及一第二电浆侦测模组，包含一崩坏式光电二极管，该第二电浆侦测模组与该第一电浆侦测模组连接且提供一强化侦测结果。