| 主权项 |
一种拨水性保护膜形成用药液，其特征在于：其系用以于表面形成有凹凸图案、且该凹凸图案之凹部表面含有选自由钛、钨、铝、铜、锡、钽、及钌所组成之群中之至少1种元素的晶圆之至少上述凹部表面，形成拨水性保护膜者；该药液含有拨水性保护膜形成剂与水；上述拨水性保护膜形成剂为选自下述通式[1]所表示之化合物及其盐化合物中之至少一种；上述药液中所含之水相对于溶剂总量之浓度为50质量%以上；
(式[1]中，R1为一部分或全部之氢元素可经氟元素取代之碳数为1至18之1价烃基，R2分别相互独立为含有一部分或全部之氢元素可经氟元素取代之碳数为1至18之烃基的1价有机基，a为0至2之整数)。 |
