晶圆斜角加工方法

主权项

一种晶圆斜角加工方法，系在旋转台上装载经定心之晶圆并使其旋转，再令用以加工此旋转晶圆之无沟槽磨轮与晶圆周缘部(边缘)接触，以对晶圆进行斜角加工之方法，其中使上述晶圆与磨轮朝Z轴与Y轴方向相对地移动，而以在晶圆全周形成同一剖面形状之移动轨迹作为基准，依据晶圆旋转角度位置，采用压电致动器将晶圆与磨轮之相对位置从上述基准轨迹位置朝Z轴或Y轴中之至少一轴方向变动以进行加工，以使上述晶圆依据旋转角度位置形成不同剖面形状。