用于旋转分度系统之旋转挠体及空气轴承支撑体

主权项

一种用于平移工件进出一处理站之可分度刻度盘系统，其包括：一刻度盘，其具有一旋转轴；一马达，其用于绕着该旋转轴选择性地将该刻度盘分度；至少一空气轴承，其附接至该刻度盘之一表面；及一挠体，其将该马达机械地连接至该刻度盘，该挠体基本上为绕着该旋转轴扭矩方面非柔性但沿着该旋转轴系柔性。