发明名称 Strahlpropagationskamera und Verfahren zur Lichtstrahlanalyse
摘要 Die Erfindung betrifft eine Strahlpropagationskamera und ein Verfahren zur Lichtstrahlanalyse. Eine erfindungsgemäße Strahlpropagationskamera weist wenigstens eine strahlaufspaltende optische Anordnung (240), welche eine Aufspaltung eines im Betrieb auf die strahlaufspaltende optische Anordnung entlang einer optischen Achse (OA) der Strahlpropagationskamera auftreffenden Strahls in eine Mehrzahl von Teilstrahlen bewirkt, und eine Sensoranordnung (250) zur Erfassung dieser Teilstrahlen auf, wobei die strahlaufspaltende optische Anordnung (240) eine diffraktive Struktur (241) aufweist, und wobei diese diffraktive Struktur (241) derart ausgestaltet ist, dass wenigstens zwei der Teilstrahlen auf der Sensoranordnung (250) räumlich voneinander getrennt sind und einen Fokusversatz in bezogen auf die optische Achse (OA) longitudinaler Richtung aufweisen.
申请公布号 DE102014201779(A1) 申请公布日期 2015.08.06
申请号 DE201410201779 申请日期 2014.01.31
申请人 CARL ZEISS SMT GMBH 发明人 MANGER, MATTHIAS
分类号 G01J1/42;G01J1/04 主分类号 G01J1/42
代理机构 代理人
主权项
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