基板の官能基化,申请号JP20150504828-传众专利搜索

发明名称	基板の官能基化
摘要	<p>電極の仕事関数を増やす方法が提供される。方法は、電磁放射線を用いて前駆体から電気陰性の化学種を得るステップと、電気陰性の化学種で電極の表面を反応させるステップと、を含む。官能基化される基板を備える電極も、提供される。【選択図】図１</p>
申请公布号	JP2015522707(A)	申请公布日期	2015.08.06
申请号	JP20150504828	申请日期	2013.04.15
申请人		发明人
分类号	C23C16/48;C23C16/509;H01B5/14;H01B13/00;H01L21/28;H01L31/02;H01L31/10;H01L51/44;H01L51/50;H05B33/10;H05B33/28;H05H1/46	主分类号	C23C16/48
代理机构		代理人
主权项
地址