希尔伯特曲线型片上无源元件地屏蔽结构及片上螺旋电感

摘要

本实用新型公开了希尔伯特曲线型片上无源元件地屏蔽结构及片上螺旋电感，所述无源元件包括金属线和衬底，所述地屏蔽结构设置在所述金属线和衬底之间，所述希尔伯特曲线型地屏蔽结构由任意金属层构成，根据所述片上无源元件所占面积大小选择不同数量不同阶数的希尔伯特曲线来构成所述地屏蔽结构，所述不同阶数的希尔伯特曲线间距为S，构成的面积接近所述片上无源元件占用面积。本实用新型公开的希尔伯特曲线型片上无源元件地屏蔽结构通过在片上无源元件的金属线与衬底之间设置希尔伯特曲线型地屏蔽结构，来隔离漩涡电流的传导，提高了片上无源元件的性能。

主权项

一种希尔伯特曲线型片上无源元件地屏蔽结构，所述无源元件包括金属线和衬底，所述地屏蔽结构设置在所述金属线和衬底之间，其特征在于，所述希尔伯特曲线型地屏蔽结构由任意金属层构成，所述希尔伯特曲线的曲线间距为S，线宽为W，n阶希尔伯特曲线其面积为(2ⁿ×W+(2ⁿ‑1)×S)²，根据所述片上无源元件所占面积大小选择不同数量不同阶数的希尔伯特曲线来构成所述地屏蔽结构，所述每个希尔伯特曲线的四角通过所述片上无源元件的金属过孔连接到所述衬底，所述不同阶数的希尔伯特曲线间距为S，构成的面积接近所述片上无源元件占用面积。