| 发明名称 | 感应加热装置及感应加热方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供感应加热装置，其在大直径化的晶片的加热中采用批量型的加热方式，且能够进行高精度的均等加热。感应加热装置(10)，其通过由螺线管型的感应加热线圈(18)产生的磁通来加热被感应加热构件，通过该被感应加热构件的发热来加热晶片(40)，其特征在于，使多个被感应加热构件(14(14a、14b、14c))散布配置成主面垂直于感应加热线圈(18)的轴心方向。在具有这种特征的感应加热装置(10)中，在由具备透磁性及热传递性的构件构成的一个支架(16)中容纳被感应加热构件(14)而构成基座(12)。 | ||
| 申请公布号 | CN103155698B | 申请公布日期 | 2015.08.05 |
| 申请号 | CN201180046429.9 | 申请日期 | 2011.08.31 |
| 申请人 | 三井造船株式会社 | 发明人 | 内田直喜 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01)I;H05B6/36(2006.01)I;H05B6/06(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人 | 黄小临 |
| 主权项 | 一种感应加热装置，通过由螺线管线圈产生的磁通来加热被感应加热构件，通过该被感应加热构件的发热来加热被加热构件，其特征在于，所述感应加热装置包括：外形为圆形的被感应加热构件，使多个所述被感应加热构件散布配置，使其主面垂直于所述螺线管线圈的轴心方向；以及由具备透磁性及热传递性的构件构成的、容纳多个所述被感应加热构件而构成发热体的一个支架，多个所述被感应加热构件以所述支架的中心为基点放射状地散布。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||