| 发明名称 | 光谱纯度滤光片 | ||
| 摘要 | 一种光谱纯度滤光片，包括：材料实体，多个孔延伸通过所述材料实体。孔布置成抑制具有第一波长的辐射并允许具有第二波长的辐射的至少一部分透射通过所述孔。第二波长辐射比第一波长辐射短。所述材料实体由钨-钼合金或钼-铼合金或钨-铼合金或钨-钼-铼合金形成。 | ||
| 申请公布号 | CN102725697B | 申请公布日期 | 2015.08.05 |
| 申请号 | CN201080062731.9 | 申请日期 | 2010.12.08 |
| 申请人 | ASML荷兰有限公司 | 发明人 | A·亚库宁;V·克里夫特苏恩;V·梅德韦杰夫;A·考登特索夫 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I;G02B15/00(2006.01)I;G02B5/20(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 吴敬莲 |
| 主权项 | 一种光谱纯度滤光片，包括：材料实体，多个孔延伸通过所述材料实体；孔布置成抑制具有第一波长的辐射并允许具有第二波长的辐射的至少一部分透射通过所述孔，第二波长辐射比第一波长辐射短；所述材料实体由钨‑钼合金或钼‑铼合金或钨‑铼合金或钨‑钼‑铼合金形成，其中，纳米颗粒分布在材料实体内的多个层中，并且其中，在光谱纯度滤光片的形成中，沉积一合金量、然后是纳米颗粒的层、然后再沉积一合金量，重复形成纳米颗粒的层和沉积一合金量步骤，直到形成材料实体和光谱纯度滤光片。 | ||
| 地址 | 荷兰维德霍温 | ||