发明名称 氮化镓基发光二极管
摘要 本发明提出了一种氮化镓基发光二极管,其为台阶结构,具有衬底,所述衬底的下表面形成有金属反射层;所述衬底的上表面上依次形成有GaN缓冲层、n型GaN层、多量子阱发光层(MQW)、p型AlGaN层、p型GaN层、透明电极层,p金属电极;n金属电极形成在所述n型GaN层上;所述GaN缓冲层的表面被粗化处理后形成第一表面粗化层;所述发光二极管的上表面、所有侧面形成第二表面粗化层。其中,所述p型GaN层的上表面形成有两排平行的反射层。
申请公布号 CN102856457B 申请公布日期 2015.08.05
申请号 CN201210351640.8 申请日期 2012.09.20
申请人 江苏威纳德照明科技有限公司 发明人 虞浩辉;周宇杭
分类号 H01L33/22(2010.01)I;H01L33/46(2010.01)I;H01L33/10(2010.01)I 主分类号 H01L33/22(2010.01)I
代理机构 南京天翼专利代理有限责任公司 32112 代理人 黄明哲
主权项 一种氮化镓基发光二极管,所述发光二极管为台阶结构,其由8层结构构成;8层结构的发光二极管具有衬底(201),所述衬底(201)的下表面直接形成有金属反射层(200);所述衬底(201)的上表面首先直接形成有GaN缓冲层(202);GaN缓冲层(202)上直接形成n型GaN层(203);n型GaN层(203)上直接形成多量子阱发光层(204);多量子阱发光层(204)上直接形成p型AlGaN层(205);p型AlGaN层(205)上直接形成p型GaN层(206)、p型GaN层(206)上直接形成透明电极层(207);透明电极层(207)上直接形成p金属电极(212);n金属电极(211)直接形成在所述n型GaN层(203)上;其特征在于:所述GaN缓冲层(202)的表面被粗化处理后形成第一表面纳米级锯齿状粗化层(222);所述发光二极管的上表面、所有侧面形成第二表面纳米级锯齿状粗化层(221);所述氮化镓基发光二极管还形成有两排平行的反射层(232、231);该反射层(232、231)仅设置在p型GaN层(206)中,并且反射层(232、231)的上表面与p型GaN层(206)的上表面齐平。
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