用于处理激光的设备

摘要

本发明内容涉及一种用于处理激光的设备，且更明确地说，涉及一种用于驱动激光辐照器以用于将激光辐照到衬底上、转换激光振荡模式时防止激光质量恶化的激光处理设备。用于处理激光的设备包含：操作脉冲产生部件，其经设置以产生用于在辐照激光的操作状态中振荡激光的操作脉冲；备用脉冲产生部件，其经设置以产生用于在尚未辐照激光的备用状态中振荡激光的备用脉冲；切换部件，其经设置以选择操作脉冲和备用脉冲中的一者以将选定脉冲提供到激光辐照器；和相对移动模块驱动部件，其经设置以控制切换部件使得当未检测到平台或激光辐照器的移动时将备用脉冲提供到激光辐照器，且当检测到平台或激光辐照器的移动时将操作脉冲提供到激光辐照器。

主权项

一种用于处理激光的设备，其特征在于包括：操作脉冲产生部件，其经设置以产生用于在辐照所述激光的操作状态中振荡所述激光的操作脉冲；备用脉冲产生部件，其经设置以产生用于在尚未辐照所述激光的备用状态中振荡所述激光的备用脉冲；切换部件，其经设置以选择所述操作脉冲和所述备用脉冲中的一者以将选定的所述脉冲提供到激光辐照器；以及相对移动模块驱动部件，其经设置以控制所述切换部件使得当未检测到平台或所述激光辐照器的移动时，将所述备用脉冲提供到所述激光辐照器，且当检测到所述平台或所述激光辐照器的所述移动时，将所述操作脉冲提供到所述激光辐照器。