一种镜片真空镀膜机用组合阀

摘要

一种镜片真空镀膜机用组合阀，由（1）大气缸，（2）大密封件、（3）粗管、（4）小气缸、（5）细管、（6）小密封件、（7）小阀体座、（8）机体、（9）正空度检测仪组成。通过正空度检测仪（9）实时检测机体（8）内的真空度，抽气时小气缸（4）推动小密封件（6），小阀体座（7）和细管（5）之间相通的孔，抽气寄通过细管（5）将空气从机体（8）内抽出，在正空度检测仪（9）检测到机体（8）内的正空度达到一定值后，大密封件（2）被大气缸（1）推动，将粗管（3）的通孔打开，便于抽气机将机体（8）内已经比较稀薄的空气抽出。

主权项

一种镜片真空镀膜机用组合阀，由大气缸1、大密封件2、粗管3、小气缸4、细管5、小密封件6、小阀体座7、机体8、真空度检测仪9组成，所述机体8的上开有二个孔，一个孔安装有小阀体座7，另一个孔通过粗管3安装有大气缸1，小气缸4通过小密封件6与小阀体座7连接，细管5一端连接在小阀体座7上，另一端连接在粗管3上，其特征在于：所述的粗管（3）和大气缸（1）之间设有大密封件（2），真空度检测仪（9）安装在粗管（3）的侧壁上，大气缸1推动大密封件2，对粗管3的通孔进行通断控制。