导电结构及其形成方法

摘要

本发明关于一种用于一半导体芯片的导电结构及其形成方法，半导体芯片包含一半导体基材、一衬垫、一保护层及一图案化绝缘层，图案化绝缘层设置于保护层上并局部且直接覆盖于衬垫的一第一开口上以使衬垫暴露出一第二开口，其中第一开口大于第二开口。导电结构包含一凸块下金属层及一导电凸块，凸块下金属层设置于图案化绝缘层所形成的第二开口内并与衬垫电性连接，导电凸块设置于凸块下金属层上并与凸块下金属层电性连接。其中，导电凸块的一上表面高于图案化绝缘层的一上表面，并且导电凸块位于第二开口内的区域是被凸块下金属层所包覆。

主权项

一种用于一半导体芯片的导电结构，半导体芯片包含一半导体基材、一衬垫、一保护层及一图案化绝缘层，衬垫设置于半导体基材上，保护层设置于半导体基材上并局部覆盖衬垫而形成一第一开口，并使第一开口暴露出衬垫，图案化绝缘层设置于保护层上并局部且直接覆盖于衬垫的第一开口上而形成一第二开口，并使第二开口暴露出衬垫，第一开口大于第二开口，导电结构包含：一凸块下金属层，设置于图案化绝缘层所形成的第二开口内并与衬垫电性连接，其中凸块下金属层的一第一上表面与图案化绝缘层的一第二上表面齐平；以及一导电凸块，设置于凸块下金属层上并与凸块下金属层电性连接，其中，导电凸块的一第三上表面高于图案化绝缘层的该第二上表面，其中导电凸块位于第二开口内的区域是被凸块下金属层所包覆。