一种单晶铜键合线退火工艺后的快速冷却装置

摘要

本实用新型涉及一种单晶铜键合线退火工艺后的快速冷却装置，包括冷却管、进气管、回气管、冷却室、气泵、氮气补充罐和绕线箱，冷却管、进气管、回气管、冷却室和气泵组成一个氮气循环系统，使冷却气体在氮气循环系统中循环使用。在冷却室的一侧设有与冷却室相连通的氮气补充罐，用以为氮气循环系统提供充足的氮气。本实用新型的有益效果是，节约氮气，降低成本，冷却速度快，能防止单晶铜键合线表面被氧化、沾污，进一步提高单晶铜键合线的质量。

主权项

一种单晶铜键合线退火工艺后的快速冷却装置，其特征在于：包括冷却管、进气管、回气管、冷却室、气泵、氮气补充罐和绕线箱，冷却管的一端与绕线箱相连通，另一端焊接在退火机的出线口处，退火机一端的冷却管与回气管的一端相连通，回气管的另一端与冷却室相连通，冷却管距离绕线箱较近的一端与进气管相连通，进气管的另一端与冷却室相连通，在进气管上设有气泵，在冷却室的一侧设有与冷却室相连通的氮气补充罐。