バイオチップおよびそれを用いたバイオデバイス

摘要

バイオチップは、貫通孔が設けられた板状のダイアフラム部と、ダイアフラム部の外周に設けられた壁部と、ダイアフラム部の貫通孔以外の部分に形成された補強部と、を有する。