フィルム、ワーク加工用シート基材およびワーク加工用シート

摘要

【課題】 ダイシングシートなどの各種ワーク加工用シートの基材として用いられ、応力緩和性やエキスパンド性が高く、しかもワークの汚染の問題がなく、かつ表面タック性の低減されたフィルムを提供すること。【解決手段】 本発明のフィルムは、２５℃における粘度が１００〜５，０００，０００ｍＰａ・Ｓのエネルギー線硬化性樹脂と、重合性シリコーン化合物とを含む、エネルギー線硬化性組成物を製膜、硬化してなることを特徴としている。【選択図】図１