| 摘要 |
高音速化を図り得るだけでなく、スプリアスとなる他のモードによる応答の影響を受け難い、弾性波装置を提供する。ニオブ酸リチウム膜５を有し、ＳＨ型表面波を利用する弾性波装置であって、支持基板２と、前記支持基板２上に形成されており、前記ニオブ酸リチウム膜５を伝搬する弾性波音速より伝搬するバルク波音速が高速である高音速膜３と、前記高音速膜３上に積層されており、前記ニオブ酸リチウム膜５を伝搬するバルク波音速より伝搬するバルク波音速が低速である低音速膜４と、前記低音速膜４上に積層された前記ニオブ酸リチウム膜５と、前記ニオブ酸リチウム膜５の一方面に形成されているＩＤＴ電極６とを備え、ニオブ酸リチウム膜５のオイラー角を（０??５?，&thetas;，０?）としたときに、&thetas;が０?〜８?及び５７?〜１８０?の範囲内にある、弾性波装置１。 |
