| 发明名称 |
树脂组合物、乾式蚀刻用抗蚀遮罩及图案形成方法 |
| 摘要 |
本发明提供一种乾式蚀刻抗蚀剂用硬化性树脂组合物，其特征在于：其系含有具有特定结构之聚合物(A)者，且该聚合物(A)中之特定结构于聚合物(A)中为80~100重量%。;又，本发明提供一种特征在于使该乾式蚀刻抗蚀剂用硬化性组合物硬化而成之乾式蚀刻用抗蚀遮罩、及作为具有藉由奈米压印法之图案者之乾式蚀刻用抗蚀遮罩。 |
| 申请公布号 |
TW201529677 |
申请公布日期 |
2015.08.01 |
| 申请号 |
TW103145324 |
申请日期 |
2014.12.24 |
| 申请人 |
ＤＩＣ股份有限公司 DIC CORPORATION |
发明人 |
伊部武史 IBE, TAKESHI;矢田真 YADA, MAKOTO |
| 分类号 |
C08L25/00(2006.01);C08L57/00(2006.01);H01L21/312(2006.01);H01L21/3065(2006.01);B29C59/02(2006.01);H01L21/027(2006.01);B82B3/00(2006.01);B82Y40/00(2011.01) |
主分类号 |
C08L25/00(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
陈长文 |
| 主权项 |
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| 地址 |
日本 JP |
