发明名称 薄膜流量控制阀
摘要
申请公布号 TWM506370 申请公布日期 2015.08.01
申请号 TW104207081 申请日期 2015.05.08
申请人 铼恩帕斯科技股份有限公司 发明人 王志中
分类号 H01L21/673 主分类号 H01L21/673
代理机构 代理人
主权项 一种薄膜流量控制阀,包括:一阀本体,为内部形成一容置室的块状结构体,该容置室之一侧壁面设有贯通至该阀本体外侧面的一组装口及一出气导孔,该阀本体之另一侧设有一与该容置室相通的进气导孔;一轴座,固设于该阀本体之组装口处,该轴座系设有一与该容置室相通的轴孔;一推杆,以可与该轴座相对轴向位移的型态穿设于该轴座之轴孔处,该推杆之一端且深入该容置室中;一开关薄膜垫片,以随该推杆之轴向位移而于该容置室内往复位移之型态,固设于该推杆深入该容置室之区段处;以及,该推杆朝向该容置室外面方向位移至定位时,该开关薄膜垫片系恰可贴附于该容置室之壁面且将该出气导孔遮蔽。
地址 台南市善化区文昌路107巷17弄15号