发明名称 支承用气流板及其气流阻力器
摘要 为了提供缓和气流对对象物的压力之技术。;本发明之支承用气流板系具有支承面,在支承面和支承对象物之间形成压缩气体层,以与支承面非接触之状态将支承对象物支承,该支承用气流板具有:气流阻力器,系对被供应的气流施加既定之流路阻力后将其送出;第1有孔板状部,具有复数个第1气体供应孔,在该等第1气体供应孔可拆卸地装设复数个气流阻力器;第2有孔板状部,系邻接于第1有孔板状部的支承面侧,在对应于第1气体供应孔的位置具有第2气体供应孔,该第2气体供应孔系与第1气体供应孔的一部分重叠而与第1气体供应孔连通,并使气流朝向压缩气体层喷出;及气流对向面,系使藉由气流阻力器送出的气流的方向改变,朝与第2气体供应孔的气流之方向不同的方向诱导,且位于第1有孔板状部和第2有孔板状部的交界部。
申请公布号 TW201529457 申请公布日期 2015.08.01
申请号 TW103126744 申请日期 2014.08.05
申请人 翁令司工业股份有限公司 OILES CORPORATION 发明人 角田耕一 TSUNODA, KOUICHI;安田贵裕 YASUDA, TAKAHIRO;伊藤彰彦 ITO, AKIHIKO;小泽秀夫 OZAWA, HIDEO
分类号 B65G51/03(2006.01);B65G49/06(2006.01);H01L21/677(2006.01) 主分类号 B65G51/03(2006.01)
代理机构 代理人 林志刚
主权项
地址 日本 JP
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