压差计测方法及装置

主权项

一种压差计测方法，其包含：温度补偿值检测步骤，其系对主容器及工作容器之各者，以大气压密封气体，而测定该主容器与该工作容器之间所产生之压差值之变化并求得温度补偿值；及压差变化测定步骤，其系对该主容器与该工作容器赋予大气压以外之测试压力，而测定该主容器与该工作容器之间所产生之压差值变化；且以该温度补偿值修正该压差变化测定步骤所测定之压差值之变化，并基于其结果判断该工作容器之泄漏；其特征在于：包含测定时序设定机构，其测定仅与该工作容器之内容压力相关之压力变化，而决定该温度补偿值之压差值之测定时序；且针对该主容器及该工作容器之间之压差，基于该温度补偿值检测步骤中所测定之大气压之压差值，及该压差变化测定步骤中所测定之测试压力之压差值，求得气体之密度变化，并藉由该密度变化修正该温度补偿值或于该压差变化测定步骤所测定之压差值之任一方。