发明名称 SPINDLE UNIT APPARATUS INCLUDING WHEEL FOR CHUCK GRINDING
摘要 <p>실시예는 휠 마운트; 상기 휠 마운트에 장착된 제1 연삭 휠; 및 상기 휠 마운트에 장착되며, 상기 제1 연삭 휠의 외경보다 큰 외경을 가지는 제2 연삭휠을 포함하여 DSG공정에 사용되는 척(chuck)의 표면을 가공할 수 있는 스핀들 유닛을 제공한다.</p>
申请公布号 KR101540572(B1) 申请公布日期 2015.07.31
申请号 KR20130157131 申请日期 2013.12.17
申请人 发明人
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
地址