| 摘要 |
酸脱離性基を含む単量体単位と、酸脱離性基を含まない単量体単位を有し、ＧＰＣにより得られる溶出曲線において共重合体に係るピークを示す溶離液を、溶出順に、体積が均等になるように分割した５個のフラクションのうち、最も先に溶出された１番目から４番目までの各フラクションに含まれる共重合体における酸脱離性基を含む単量体単位の比率をＮ（ｖ１）〜Ｎ（ｖ４）モル％とし、５個のフラクションの合計に含まれる共重合体における酸脱離性基を含む単量体単位の比率をＮａｖｅモル％としたとき、Ｎ（ｖ１）／Ｎａｖｅが１．０１〜１．０９であり、Ｎ（ｖ２）／Ｎａｖｅ、Ｎ（ｖ３）／Ｎａｖｅ、およびＮ（ｖ４）／Ｎａｖｅがいずれも０．９５〜１．０５である、リソグラフィー用共重合体。 |
