发明名称 |
圧電薄膜、圧電素子、インクジェットヘッド、インクジェットプリンタおよび圧電薄膜の製造方法 |
摘要 |
<p>圧電薄膜は、正方晶の結晶構造を有するペロブスカイト型であり、正方晶の(100)配向度が、80%以上である。また、圧電薄膜は、PZTのPbの一部をLaに置換したPLZTで形成されている。</p> |
申请公布号 |
JPWO2013132903(A1) |
申请公布日期 |
2015.07.30 |
申请号 |
JP20140503709 |
申请日期 |
2013.01.22 |
申请人 |
コニカミノルタ株式会社 |
发明人 |
馬渡 健児 |
分类号 |
H01L41/187;B41J2/14;H01L41/09;H01L41/316 |
主分类号 |
H01L41/187 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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