发明名称 圧電薄膜、圧電素子、インクジェットヘッド、インクジェットプリンタおよび圧電薄膜の製造方法
摘要 <p>圧電薄膜は、正方晶の結晶構造を有するペロブスカイト型であり、正方晶の(100)配向度が、80%以上である。また、圧電薄膜は、PZTのPbの一部をLaに置換したPLZTで形成されている。</p>
申请公布号 JPWO2013132903(A1) 申请公布日期 2015.07.30
申请号 JP20140503709 申请日期 2013.01.22
申请人 コニカミノルタ株式会社 发明人 馬渡 健児
分类号 H01L41/187;B41J2/14;H01L41/09;H01L41/316 主分类号 H01L41/187
代理机构 代理人
主权项
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