| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft eine Sensorvorrichtung mit einem Substrat (10) mit mindestens einer darin ausgebildeten Kaverne (12), und mindestens einer temperatursensitiven Sensoreinrichtung (14), welche mittels mindestens einer die mindestens eine zugeordnete Kaverne (12) zumindest teilweise überspannenden Aufhängungsstruktur (16) an und/oder über der mindestens einen zugeordneten Kaverne (12) aufgehängt ist, wobei die mindestens eine temperatursensitive Sensoreinrichtung (14) derart ausgebildet ist, dass mindestens eine elektrische Eigenschaft der jeweiligen temperatursensitiven Sensoreinrichtung (14) bei einer Variierung einer an und/oder in der jeweiligen temperatursensitiven Sensoreinrichtung (14) und/oder der mindestens einen zugeordneten Kaverne (12) vorliegenden Temperatur variiert, wodurch mindestens ein von der jeweiligen temperatursensitiven Sensoreinrichtung (14) an eine sensorvorrichtungseigene oder externe Betreiberelektronik (18) bereitstellbares Stromsignal bei der Variierung der Temperatur variiert, wobei die mindestens eine temperatursensitive Sensoreinrichtung (14) jeweils mindestens einen Bipolartransistor (20) umfasst. Ebenso betrifft die Erfindung ein Herstellungsverfahren für eine Sensorvorrichtung und ein Verfahren zum Ermitteln einer Information bezüglich einer Temperatur und/oder bezüglich einer Strahlung.</p> |
