| 发明名称 | 图案形成方法和加热装置 | ||
| 摘要 | 在本发明中，在基板上形成图案时，在基板上形成至少包括两种聚合物的嵌段共聚物的膜，在溶剂蒸气氛围下对该嵌段共聚物的膜进行加热，使得嵌段共聚物相分离，除去被相分离的嵌段共聚物的膜中的一种聚合物，因此，能够促进嵌段共聚物的聚合物的流动化，能够促进相分离。 | ||
| 申请公布号 | CN104812503A | 申请公布日期 | 2015.07.29 |
| 申请号 | CN201380016312.5 | 申请日期 | 2013.11.25 |
| 申请人 | 东京毅力科创株式会社 | 发明人 | 村松诚;北野高广;富田忠利;田内启士 |
| 分类号 | B05D7/24(2006.01)I;B05C9/14(2006.01)I;B05D3/02(2006.01)I;B05D3/10(2006.01)I;G03F7/004(2006.01)I;G03F7/38(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I | 主分类号 | B05D7/24(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人 | 龙淳 |
| 主权项 | 一种在基板上形成图案的图案形成方法，其特征在于，包括：在基板上形成至少包括两种聚合物的嵌段共聚物的膜的步骤；在溶剂蒸气氛围下对所述嵌段共聚物的膜进行加热，使所述嵌段共聚物相分离的步骤；和将被相分离的所述嵌段共聚物的膜中的一种聚合物除去的步骤。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||