传送装置

摘要

本发明提供一种传送装置，谋求实现提高耐热性能。本发明的传送装置，在真空容器(31)内配置传送基板(42)的传送辊(18)，以从真空容器(31)内向真空容器(31)外延伸的方式配置能够与传送辊(18)传热地被固定的旋转轴(16)。并且，通过配置于真空容器(31)的贯穿孔(31f)的磁封(23)，能够旋转地支承旋转轴(16)。并且，在旋转轴(16)内形成从真空容器(31)遍及真空容器(31)内而在轴线方向上延伸的冷却用通道(17a)，使冷却介质在该通道流通。

主权项

一种传送装置，该传送装置传送在真空容器内加热后的基板，其特征在于，具备：传送辊，配置于所述真空容器内，且传送所述基板；旋转轴，能够与所述传送辊传热地固定，且从所述真空容器内延伸至所述真空容器外；磁封轴承，配置于贯穿孔，将所述旋转轴支承为能够旋转，并且密封所述贯穿孔，该贯穿孔贯穿用于形成所述真空容器的壁；冷却用通道，沿着轴向形成于所述旋转轴内，且从所述真空容器外延伸至所述真空容器内，用于使冷却介质流通；及温度调整部件，与所述传送辊和所述旋转轴相互接触地配置于所述传送辊与所述旋转轴之间，且通过在与所述旋转轴接触的面上形成由与所述旋转轴不接触的凹部和与所述旋转轴接触的凸部构成的凹凸部，从而调整所述传送辊与所述旋转轴之间的传热。