发明名称 IMPRINTING METHOD AND CURABLE COMPOSITION FOR IMPRINTING
摘要 최대 응축성 가스 용해도 (가스/(경화성 조성물 + 가스)) (g/g)가 0.1 이상 0.4 이하이고, 23℃에서의 점도가 40 cP 이하인, 응축성 가스 분위기 하에서의 임프린트용 경화성 조성물. 최대 응축성 가스 용해도는, 9 ml 갈색병을 경화성 조성물 3 g으로 채우고, 응축성 가스를 0.1 L/min의 유량으로 15분간 버블링하기 전 및 후에 23℃, 1 atm에서 상기 경화성 조성물의 중량을 측정하고, 상기 버블링으로 인해 증가한 중량을 상기 경화성 조성물 및 상기 응축성 가스의 총 중량으로 나눔으로써 결정된다.
申请公布号 KR20150087403(A) 申请公布日期 2015.07.29
申请号 KR20157016570 申请日期 2013.11.26
申请人 CANON KABUSHIKI KAISHA 发明人 CHIBA KEIKO;ITO TOSHIKI;IIMURA AKIKO;KAWASAKI YOUJI;YAMASHITA KEIJI;KATO JUN
分类号 G03F7/00;H01L21/027 主分类号 G03F7/00
代理机构 代理人
主权项
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