| 发明名称 | 一种研磨盘平整度测量工具 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种研磨盘平整度测量工具。其包括带有可升降的升降杆(10)的升降支架(1)、卡槽(8)、平整度测量仪(4)，所述升降杆(10)顶端安装有万向节轴承(9)，所述卡槽(8)下部与所述万向节轴承(9)连接，所述平整度测量仪(4)设置在所述卡槽(8)内。本实用新型结构简单，操作方便，能够保证测量准确度，能有效避免研磨盘不平而导致的晶片破损，且可以实现单人操作，省时省力。 | ||
| 申请公布号 | CN204514257U | 申请公布日期 | 2015.07.29 |
| 申请号 | CN201520262316.8 | 申请日期 | 2015.04.27 |
| 申请人 | 山东天岳晶体材料有限公司 | 发明人 | 宗艳民;张志海;高玉强;梁庆瑞;孙诗甫;李秀杰 |
| 分类号 | G01B5/28(2006.01)I | 主分类号 | G01B5/28(2006.01)I |
| 代理机构 | 济南舜源专利事务所有限公司 37205 | 代理人 | 苗峻;孙亚琳 |
| 主权项 | 一种研磨盘平整度测量工具，其特征是：包括带有可升降的升降杆(10)的升降支架(1)、卡槽(8)、平整度测量仪(4)，所述升降杆(10)顶端安装有万向节轴承(9)，所述卡槽(8)下部与所述万向节轴承(9)连接，所述平整度测量仪(4)设置在所述卡槽(8)内。 | ||
| 地址 | 250101 山东省济南市槐荫区美里路中段1929号 | ||