剥离装置及剥离方法

摘要

本发明提供使相互紧贴的两片板状体良好且稳定地剥离分离的剥离装置及方法。剥离方法包括如下步骤：由上游侧吸附部将第2板状体的被吸附部位从第1板状体剥离，向剥离进展方向剥离第2板状体；在剥离进展方向的被吸附部位的下游侧，使下游侧吸附部向第2板状体中的被上游侧剥离装置剥离的剥离部位处的反紧贴面移动；在向剥离部位处的反紧贴面移动的过程中监控下游侧吸附部与第2板状体的反紧贴面的相对位置；基于与相对位置相关的位置信息调整下游侧吸附部开始吸附第2板状体的时机；在与下游侧吸附部开始吸附第2板状体同时或之后，在下游侧吸附部保持剥离部位的反紧贴面的状态，使下游侧吸附部与保持装置分离来向剥离进展方向剥离第2板状体。

主权项

一种剥离装置，用于剥离相互紧贴的第1板状体和第2板状体，其特征在于，具有：保持装置，保持所述第1板状体，上游侧剥离装置，具有对所述第2板状体的反紧贴面的一部分进行吸附保持的上游侧吸附部，该反紧贴面是所述第2板状体的表面中的与所述第1板状体相紧贴的面的相反侧的面，一边通过所述上游侧吸附部吸附所述第2板状体一边使所述上游侧吸附部与所述保持装置相分离，来使所述第2板状体的被所述上游侧吸附部吸附的被吸附部位从所述第1板状体剥离，来向剥离进展方向剥离所述第2板状体，下游侧剥离装置，具有在所述剥离进展方向上的所述被吸附部位的下游侧与所述第2板状体的所述反紧贴相面对地设置的下游侧吸附部，在使所述下游侧吸附部移动至所述第2板状体中的被所述上游侧剥离装置剥离的剥离部位来吸附所述剥离部位处的所述反紧贴面后，使所述下游侧吸附部以吸附所述第2板状体的状态与所述保持装置分离，来向所述剥离进展方向剥离所述第2板状体，监控装置，监控所述下游侧吸附部与所述第2板状体的所述反紧贴面间的相对位置，控制装置，基于与由所述监控装置获得的所述相对位置相关的位置信息，控制所述下游侧吸附部开始吸附所述第2板状体。