一种嵌入式组合热沉及其制备方法

摘要

本发明公开了一种嵌入式组合热沉及其制备方法，该热沉包括一级散热体和二级散热体，以二级散热体为基体，所述一级散热体嵌入基体表层中，形成位于基体表层的复合层，该一体化的结构即为嵌入式组合热沉。其制备方法为：（1）以二级散热体材料为基体，将基体进行软化退火热处理；（2）将金刚石粉配成悬浮液，使金刚石粉沉降在基体表面；在不改变基体表面金刚石分布的前提下，将液面降至低于样品表面，取出样品；（3）减薄样品表面含金刚石粉的液膜厚度，再将金刚石粉压入基体内；最后对样品进行扩散退火处理，冷却后即得上述热沉。一、二级散热体一体化，消除了接触热阻；热沉厚度只有几十微米，热阻很小；减少了工艺环节，降低了成本。

主权项

一种嵌入式组合热沉的制备方法，其特征在于，包括下述步骤：(1)以二级散热体为基体，将基体进行软化退火热处理；(2)将金刚石粉用液体配成悬浮液，然后将基体平放在盛悬浮液的容器底部，使金刚石粉沉降在基体表面；在不改变基体表面金刚石分布的前提下，将液面降至低于基体表面，取出基体；(3)先减薄基体表面含金刚石粉的液膜厚度；再用模压法将基体表面的金刚石粉压入基体内；最后对模压后的基体进行扩散退火处理，冷却后即得到嵌入式组合热沉。