具有垂直电馈通的电容式压力传感器及其制造方法

摘要

公开了一种具有垂直电馈通的电容式压力传感器及制造方法，该传感设备能够使用具有垂直电馈通的微电机系统(“MEMS”)电容式压力传感器来检测压力。所述传感设备包括第一传感元件、第二传感元件和传感电路。在一个实施例中，所述第一传感元件布置在半导体裸片上并且配置用于在检测到压力时生成第一传感信号。所述第二传感元件也布置在与所述第一传感元件相邻的所述半导体裸片上，并且配置用于在传感环境状况时生成第二传感信号。所述传感电路能够响应所述第一传感信号和所述第二传感信号生成压力传感信号。

主权项

一种传感设备，包括：第一传感元件，其布置在半导体裸片上并且配置用于在检测到压力时生成第一传感信号；第二传感元件，其布置在与所述第一传感元件相邻的所述半导体裸片上，暴露于压力孔的压力下而其膜片不会偏转，并且配置用于在感测到环境状况时生成第二传感信号；以及传感电路，其耦合到所述第二传感元件，并且能够响应于所述第一传感信号和所述第二传感信号生成压力传感信号；其中，第一传感元件包括利用柔性材料制成，能够在压力下偏转且起第一电容电极作用的压力膜片；放置在压力膜片附近能够响应压力改变其物理形状的带隙，放置在带隙的远离压力膜片的一侧上的硅柱，以及经由掺杂处理在硅柱的和带隙相邻的底部掺杂硅壁附近直接掺杂而形成的第二电容电极。