| 摘要 |
<p>간단한 구성을 이용하여, 유지하는 기판의 위치를 고정밀도로 결정할 수 있고, 기판의 흡착력을 충분히 확보할 수 있어 기판의 탈락을 방지할 수 있는 기판의 유지 장치, 기판의 유지 방법 및 합판 유리의 제조 방법을 제공한다. 기판을 대략 수평으로 유지하여 상하로 이동시키기 위한 기판의 유지 장치 (10) 로서, 지지체 (2) 와, 지지체 (2) 에 의하여 지지되어 기판을 흡착하는 적어도 하나의 기판 흡착체 (1) 와, 기판 흡착체 (1) 의 외주부와 지지체 (2) 의 기판 흡착체 (1) 외주부에서 수평 방향으로 떨어진 영역을 복수 지점에서 연결하는 띠 형상 탄성 부재 (4) 를 구비하고, 띠 형상 탄성 부재 (4) 는, 기판 흡착체 (1) 에 연결되는 일단부와 지지체 (2) 에 연결되는 타단부 사이에, 수평 방향으로 광폭이고 또한 상하 방향으로 두께가 얇은 띠 형상으로서, 지지체 (2) 에 대하여 기판 흡착체 (1) 가 상대적으로 상하 방향으로 접근 이간하도록 변위되고 또한 수평 방향으로 변위되는 변위부를 갖는 것을 특징으로 한다.</p> |
