| 摘要 |
【課題】可動支持体によって支持される交換可能なオブジェクトの位置決めの精度を増加させる。【解決手段】リソグラフィ装置は、オブジェクトに対して移動自在に配置された可動構造、可動構造に対して移動自在に配置されるパターニングデバイスホルダ、オブジェクトに対して可動構造を移動させるアクチュエータ、及び、可動構造に対してパターニングデバイスホルダを移動させるウルトラショートストロークアクチュエータを有するパターニングデバイス支持体と、基板を保持する基板支持体と、パターン付放射ビームを基板のターゲット部分上に投影する投影システムと、基準オブジェクトに対する基板の所望の位置と実際の位置との差である基板位置の誤差を測定する位置測定システムと、基板位置の誤差に少なくとも部分的に基づいてアクチュエータとウルトラショートストロークアクチュエータとを移動させるコントローラと、を備える。【選択図】図６ |
