極端紫外光又は深紫外光の被曝により劣化した撮像センサを修復するシステム及び方法

摘要

撮像センサ修復のための本発明は、極端紫外光又は深紫外光の少なくとも一方の被曝により劣化した撮像センサを少なくとも部分的に修復するのに適した光源を有する撮像システムの撮像センサの一部を選定的に照射するように構成された修復照射システム；及び、通信可能状態で修復照射システムに接続して、撮像センサが非撮像状態の間に一周期以上の照射サイクルで撮像センサを照射するように修復照射システムを管理する制御装置とを含んでもよい。