レーザビームによるワークピースの処理方法および処理装置

摘要

殊に、レーザアブレーションを目的とした、レーザビームによるワークピース（１１０）の処理方法を提示する。少なくとも１つの、可変のビーム成形装置（１３２）によって変えられる少なくとも１つのレーザビーム（１３０）が供給される。次にレーザビーム（１３０）は、ワークピース（１１０）の少なくとも１つの処理面（１１２）に入射する。ビーム成形装置（１３２）によって、処理面（１１２）の箇所のレーザビーム（１３０）に、少なくとも１つの、所定の調整可能なビームプロファイル（１１６、１１８、１２０）を加える。