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发明名称
ドナーシート及び光誘起前方転写による製造方法
摘要
光誘起前方転写による製造方法はドナーシートから構造体上への材料の転写を与える。使用されるドナーシートは当該ドナーシートの表面に溝を備え、溝内に転写材料を有している。この材料は溝の底部に沿って光スポットのスキャンにより転写される。使用されるドナーシートは、スキャン方向において溝の平均深さが変化する。これはドナーシートを介した溝からの位置情報の光学的な読み出し、及び/又は溝から所定高さの輪郭を有する構造の転写に役立つ。平均深さとの組み合わせにおいて、又はそれら自身によって、光学的な位置情報の読み取り及び/又は所定構造の転写を支援するために、溝幅、平均トラックからの溝のずれ若しくは溝の底部の材料の厚さ又は組成が溝に沿った位置の関数として変化してもよい。【選択図】図2
申请公布号
JP2015521234(A)
申请公布日期
2015.07.27
申请号
JP20150510202
申请日期
2013.05.01
申请人
ネーデルランセ オルハニサチエ フォール トゥーヘパスト−ナツールウェーテンシャッペルック オンデルズク テーエヌオーNederlandse Organisatie voor toegepast−natuurwetenschappelijk onderzoek TNO;アイエムイーシー ブイゼットダブリュー
发明人
メインダース、エルウィン リナルド;フレデラス、アンリ;プレネン、アン マリア
分类号
C23C14/04;C23C14/28
主分类号
C23C14/04
代理机构
代理人
主权项
地址
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