| 摘要 |
<p>본 발명은 몸체; 상기 몸체 내부로 가스를 유입시키는 가스 유입부; 상기 몸체의 둘레면에 복수 개가 형성되며, 상기 가스 유입부를 통해 상기 몸체 내부로 유입된 가스를 외부로 유출시키는 가스 유출부; 및 상기 몸체에 열을 공급하는 가열부를 포함하고, 상기 몸체 내에는 상기 가스 유입부와 상기 가스 유출부를 연결하는 연통로가 형성되며, 상기 가스는 상기 연통로 내부를 유동하면서 가열되는 것을 특징으로 하는 히터 기능을 구비한 가스 공급 노즐 및 이를 포함하는 폴리실리콘 제조 장치에 관한 것이다.</p> |
